上野 和良

研究成果

年別の研究成果 1985 1997 1998 2009 2010 2012 2017 2019 2022

• 101 Article
• 24 Conference contribution
• 10 Conference article
• 4 Editorial
• 1 その他
  • 1 Paper

年別の研究成果

年別の研究成果

検索結果

• 2005

  Reliability of damascene copper interconnects

  Ueno, K., Ishigarni, T., Kakuhara, Y. & Kawano, M., 2005, p. 408-418. 11 p.

  研究成果: Paper › 査読

  • Copper 100%
  • Electromigration 59%
  • Electroless plating 20%
  • Palladium 20%
  • Metals 19%
  1 被引用数 (Scopus)