上野 和良

研究成果

年別の研究成果 1985 2021

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年別の研究成果

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• 2016

  Advanced Metallization for ULSI Applications

  Nakatsuka, O., Lee, H. J., Park, Y. B., Ueno, K. & Yokogawa, S., 2016, In: Japanese Journal of Applied Physics. 55, 63, 06J001.

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  Open Access
• 2012

  Foreword: Advanced metallization for ULSI applications

  Ueno, K., 2012 5 1, In: Japanese Journal of Applied Physics. 51, 5 PART 2

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• 2009

  Advanced Metallization Conference: Preface

  Naik, M., Shaviv, R., Yoda, T. & Ueno, K., 2009 10 19, In: Advanced Metallization Conference (AMC). p. xxi-xxii

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