ニオブ酸リチウム基板を用いた表面弾性波応用マイクロ流体システム

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)16
ジャーナルProceedings of the 1st Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2007)
出版ステータスPublished - 2007 4月 1

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