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良好な絶縁性を有する c 軸配向 PZT 系単結晶薄膜のSi 基板上への形成
Ryo Ebihara,
Shinya Yoshida
, Shuji Tanaka
研究成果
:
Article
›
査読
2
被引用数 (Scopus)
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「良好な絶縁性を有する c 軸配向 PZT 系単結晶薄膜のSi 基板上への形成」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering & Materials Science
Buffer layers
39%
Debris
14%
Fabrication
61%
Insulation
70%
Lead zirconate titanate
100%
Pulsed laser deposition
42%
Sol-gel process
18%
Sputter deposition
22%
Substrates
58%
Thin films
77%