A Development of Micro-Machined Micro Ion Source for Flexible and Concurrent MEMS Process

Tomoyuki Ueda, Shinya Tamonoki, Tatsuya Suzuki, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)41
ジャーナルProceedings of the 3rd Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2010)
出版ステータスPublished - 2010 6 29

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