A Fully Planarized Multilevel Interconnection Technology Using Selective TEOS-Ozone APCVD

M.Suzuki M.Suzuki, T.Homma T.Homma, Y.Murao Y.Murao, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)293-296
ジャーナルProceedings of IEEE International Electron Devices Meeting
出版ステータスPublished - 1992 12 13

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