A fully planarized multilevel interconnection technology using selective TEOS-Ozone APCVD

M. Suzuki, Tetsuya Homma, H. Koga, T. Tanigawa, Y. Murao

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A fully planarized multilevel interconnection technology using selective TEOS-Ozone APCVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Engineering & Materials Science

Chemical Compounds