A half-micron pitch Cu interconnection technology

K.Ueno K.Ueno, K.Ohto K.Ohto, K.Tsunenari K.Tsunenari, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)27-28
ジャーナル1995 Symposium on VLSI Technology Digest of Technical Papers
出版ステータスPublished - 1996 6 1

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