A high reliability copper dual-damascene interconnection with direct-contact via structure

K. Ueno, M. Suzuki, A. Matsumoto, K. Motoyama, T. Tonegawa, N. Ito, K. Arita, Y. Tsuchiya, T. Wake, A. Kubo, K. Sugai, N. Oda, H. Miyamoto, S. Saito

研究成果: Conference article査読

17 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A high reliability copper dual-damascene interconnection with direct-contact via structure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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