A high reliability copper duel-damascene interconnection with direct-contact via structure

K.Ueno K.Ueno, M.Suzuki M.Suzuki, A.Matsumoto A.Matsumoto, K.Motoyama K.Motoyama, N.Ito N.Ito, K.Arita K.Arita, Y.Tsuchiya Y.Tsuchiya, T.Wake T.Wake, A.Kubo A.Kubo, K.Sugai K.Sugai, N.Oda N.Oda, H.Miyamoto H.Miyamoto, S.Saito S.Saito, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)265-268
ジャーナル2000 IEDM Technical Digests
出版ステータスPublished - 2000 12 1

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