A Micro Electric Power Generator Using a Hybrid Si Micro Cantilever Structure

Takafumi Suzuki, Sumito Nagasawa, Hiroshi Okamoto, Hiroki Kuwano

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)301-304
ジャーナルProceedings of PowerMEMS2008+μEMS2008
出版物ステータスPublished - 2008 4 1

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