A Micro Electric Power Generator Using Cantilever Consisting of Silicon and Polymer

Yasunori Wada, Takahumi Suzuki, Sumito Nagasawa, Hiroshi Okamoto, Hiroki Kuwano

研究成果: Article

本文言語English
ページ(範囲)37-38
ジャーナルProceedings of the 3rd Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2010),
出版ステータスPublished - 2010 6 29

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