本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 37-38 |
ジャーナル | Proceedings of the 3rd Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2010), |
出版ステータス | Published - 2010 6月 29 |
A Micro Electric Power Generator Using Cantilever Consisting of Silicon and Polymer
Yasunori Wada, Takahumi Suzuki, Sumito Nagasawa, Hiroshi Okamoto, Hiroki Kuwano
研究成果: Article › 査読