A New Polyimide Siloxane Film for Interlayer Dielectrics in Sub-micron Multilevel Interconnection

T.Homma T.Homma, K.Eguchi K.Eguchi, Y.Numasawa Y.Numasawa, T.Kikkawa T.Kikkawa, Y.Hokari Y.Hokari, K.Hamano K.Hamano, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)279-285
ジャーナルProceedings of 5th IEEE VLSI Multilevel Interconnection Conference
出版ステータスPublished - 1988 6 13

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