A New Trench Isolation Technology as A Replacement of LOCOS

H.Mikoshiba H.Mikoshiba, T.Homma T.Homma, K.Hamano K.Hamano, Tetsuya Homma

研究成果: Article

10 引用 (Scopus)
元の言語English
ページ(範囲)578-581
ジャーナルProceedings of IEEE International Electron Devices Meeting
出版物ステータスPublished - 1984 12 9

これを引用