A New Trench Isolation Technology as A Replacement of LOCOS

H.Mikoshiba H.Mikoshiba, T.Homma T.Homma, K.Hamano K.Hamano, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)578-581
ジャーナルProceedings of IEEE International Electron Devices Meeting
出版ステータスPublished - 1984 12 9

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