A Novel Process for Emitter-Base-Collector Self-Aligned Heterojunction Bipolar Transistors Using a Pattern-Inversion Method

S.Tanaka S.Tanaka, S.Tanaka M.Madihian H.Toyoshima, K.Honjo K.Honjo, Shinichi Tanaka

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)562-564
ジャーナルElectronics Letters
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出版ステータスPublished - 1987 5 1

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