A numerical study of the influence of feeding polycrystalline silicon granules on melt temperature in the continuous Czochralski process

Naoki Ono, Michio Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira

研究成果査読

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フィンガープリント

「A numerical study of the influence of feeding polycrystalline silicon granules on melt temperature in the continuous Czochralski process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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