A process for Copper Films Deposition by Pyrolysis of Organic Copper Materials

T.Homma T.Homma, H.Kokubun H.Kokubun, A.Takasaki A.Takasaki, H.Machida H.Machida, M.Yamaguchi M.Yamaguchi, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)580-585
ジャーナルJournal of the Electrochemical Society
147
出版ステータスPublished - 2000 2月 1

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