A quarter-micron planarized interconnection technology with self-aligned plug

Kazuyoshi Ueno, K. Ohto, K. Tsunenari, K. Kajiyana, K. Kikuta, T. Kikkawa

研究成果: Conference contribution

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A quarter-micron planarized interconnection technology with self-aligned plug」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

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Physics & Astronomy