A Room Temperature CVD Technology for Interlayer in Deep submicron Multilevel Interconnection

T.Homma T.Homma, Y.Murao Y.Murao, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

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本文言語English
ページ(範囲)289-292
ジャーナルProceedings of IEEE International Electron Devices Meeting
出版ステータスPublished - 1991 12月 8

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