A Selective SiO2 Film-Formation Technology Using Liquid-Phase Deposition for Fully Planarized Multilevel Interconnections

Tetsuya Homma, Takuya Katoh, Yoshiaki Yamada, Yukinobu Murao

研究成果: Article

66 引用 (Scopus)

フィンガープリント A Selective SiO<sub>2</sub> Film-Formation Technology Using Liquid-Phase Deposition for Fully Planarized Multilevel Interconnections' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

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