A Spin-on-Glass Film Treatment Technology Using A Fluoroalkoxysil-ane vapor at Room Temperature

T.Homma T.Homma, Y.Murao Y.Murao, Tetsuya Homma

研究成果: Article査読

18 被引用数 (Scopus)
本文言語English
ページ(範囲)2046-2051
ジャーナルJournal of the Electrochemical Society
140
出版ステータスPublished - 1993 7月 1

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