本文言語 | English |
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ページ(範囲) | 2046-2051 |
ジャーナル | Journal of the Electrochemical Society |
巻 | 140 |
出版ステータス | Published - 1993 7月 1 |
A Spin-on-Glass Film Treatment Technology Using A Fluoroalkoxysil-ane vapor at Room Temperature
T.Homma T.Homma, Y.Murao Y.Murao, Tetsuya Homma
研究成果: Article › 査読
18
被引用数
(Scopus)