A Spin-On-Glass Film Treatment Technology Using a Fluoroalkoxysilane Vapor at Room Temperature

Tetsuya Homma, Yukinobu Murao

研究成果: Article査読

18 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「A Spin-On-Glass Film Treatment Technology Using a Fluoroalkoxysilane Vapor at Room Temperature」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds