A Spin-On-Glass Film Treatment Technology Using a Fluoroalkoxysilane Vapor at Room Temperature

Tetsuya Homma, Yukinobu Murao

研究成果: Article

18 引用 (Scopus)

フィンガープリント A Spin-On-Glass Film Treatment Technology Using a Fluoroalkoxysilane Vapor at Room Temperature' の研究トピックを掘り下げます。これらはともに一意のフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science