A surface acoustic wave dynamic control device by grating structure

Masahiro Miyashita, Teppei Onuki, Sumito Nagasawa, Hiroki Kuwano

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)15
ジャーナルProceedings of the 1st Symposium on Micro Environmental Machine Systems (μEMS2007)
出版ステータスPublished - 2007 4 1

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