Adaptive high precision control for piezo-actuated nano-positioner

Toshikuni Ozaki, Xinkai Chen

研究成果: Conference contribution

抄録

The piezo-actuated nano-positioner is composed of a piezoelectric actuator (PEA) and a positioning mechanism (PM). Due to the existence of hysteretic nonlinearity in the PEA and the friction behavior in the PM, the accurate position control of the piezo-actuated stage is a challenging task. This paper discusses the adaptive control for the piezo-actuated nano-positioner, where the hysteresis is described by Prandtl- Ishlinskii model. The proposed control law ensures the zero output tracking of the controlled nano-positioner. Experimental results show the effectiveness of the proposed method.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2010 IEEE International Symposium on Intelligent Control, ISIC 2010
ページ2278-2283
ページ数6
DOI
出版ステータスPublished - 2010 11 30
イベント2010 IEEE International Symposium on Intelligent Control, ISIC 2010 - Yokohama, Japan
継続期間: 2010 9 82010 9 10

出版物シリーズ

名前IEEE International Symposium on Intelligent Control - Proceedings

Conference

Conference2010 IEEE International Symposium on Intelligent Control, ISIC 2010
国/地域Japan
CityYokohama
Period10/9/810/9/10

ASJC Scopus subject areas

  • 制御およびシステム工学
  • モデリングとシミュレーション
  • コンピュータ サイエンスの応用
  • 電子工学および電気工学

フィンガープリント

「Adaptive high precision control for piezo-actuated nano-positioner」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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