Applications of a microlens array and a photomask to the laser microfabrication of a periodic photopolymer rod array

Shigeki Matsuo, Takashi Miyamoto, Takuro Tomita, Shuichi Hashimoto

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抄録

We report the simultaneous multipoint fabrication of polymer rods by the femtosecond laser processing of a negative photoresist using a microlens array (MLA). The rods were periodically arranged in the form of an array corresponding to the MLA and free-standing on a glass substrate. The use of a photomask enabled us to define the contour of the rod array. Furthermore, sample translation techniques were demonstrated for the effective fabrication of large-area structures.

本文言語English
ページ(範囲)8264-8267
ページ数4
ジャーナルApplied Optics
46
34
DOI
出版ステータスPublished - 2007 12 1
外部発表はい

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  • 原子分子物理学および光学
  • 工学(その他)
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フィンガープリント

「Applications of a microlens array and a photomask to the laser microfabrication of a periodic photopolymer rod array」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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