Barrier Reliability Evaluation of Electroless Diffusion Barriers and Organosilane Monolayer by Bias Temperature Stress (BTS) Tests

A. Mitsumori, S. Fujishima, K. Ueno

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)88-89
ジャーナルExtended Abstracts of Advanced Metallization Conference 2011: 21st Asian Session
出版ステータスPublished - 2012 9月 14

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