C-axis tilted AlN films for vibration energy harvesters

H. H. Nguyen, M. Hara, H. Oguchi, H. Kuwano

研究成果: Conference article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「C-axis tilted AlN films for vibration energy harvesters」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy