Change of electrical properties of rutile- and anatase-TiO2 films by atomic layer deposited Al2O3

Toshihide Nabatame, Ippei Yamamoto, Tomomi Sawada, Akihiko Ohi, Thang Duy Dao, Tomoji Ohishi, Tadaaki Nagao

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Change of electrical properties of rutile- and anatase-TiO2 films by atomic layer deposited Al2O3」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science