Changes in effective work function of HfxRu1-x alloy gate electrode

T. Nabatame, Y. Nunoshige, M. Kadoshima, H. Takaba, K. Segawa, S. Kimura, H. Satake, H. Ota, T. Ohishi, A. Toriumi

研究成果: Article査読

12 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Changes in effective work function of Hf<sub>x</sub>Ru<sub>1-x</sub> alloy gate electrode」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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