Changes in effective work function of Hf_xRu_1-x alloy gate electrode

T. Nabatame, Y. Nunoshige, M. Kadoshima, H. Takaba, K. Segawa, S. Kimura, H. Satake, H. Ota, T. Ohishi, A. Toriumi

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フィンガープリント「Changes in effective work function of Hf<sub>x</sub>Ru<sub>1-x</sub> alloy gate electrode」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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