Characteristics of Al 2 O 3 /native oxide/n-GaN capacitors by post-metallization annealing

Kazuya Yuge, Toshihide Nabatame, Yoshihiro Irokawa, Akihiko Ohi, Naoki Ikeda, Liwen Sang, Yasuo Koide, Tomoji Ohishi

研究成果査読

18 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Characteristics of Al 2 O 3 /native oxide/n-GaN capacitors by post-metallization annealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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