Characteristics of BCl3 Plasma-Etched GaN Schottky Diodes

M. Nakaji, T. Egawa, H. Ishikawa, S. Arulkumaran, T. Jimbo

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本文言語English
ページ(範囲)L493-495
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41
出版ステータスPublished - 2002 4月 1

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