Characteristics of BCl3 plasma-etched GaN Schottky diodes

Masaharu Nakaji, Takashi Egawa, Hiroyasu Ishikawa, Subramanian Arulkumaran, Takashi Jimbo

研究成果: Letter査読

19 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Characteristics of BCl3 plasma-etched GaN Schottky diodes」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy