Characteristics of SiOF films formed using tetraethylorthosilicate and fluorotriethoxysilane at room temperature by chemical vapor deposition

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フィンガープリント 「Characteristics of SiOF films formed using tetraethylorthosilicate and fluorotriethoxysilane at room temperature by chemical vapor deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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