Chemical modification of titanium nitride films via ion implantation.

T. Aizawa, A.Mitsuo A.Mitsuo, T. Akhadejdamrong

研究成果: Article

元の言語English
ページ(範囲)1962-1970
ジャーナルMaterials Transactions.
44 [10] (2003)
出版物ステータスPublished - 1800

これを引用

Aizawa, T., A.Mitsuo, A. M., & Akhadejdamrong, T. (1800). Chemical modification of titanium nitride films via ion implantation. Materials Transactions., 44 [10] (2003), 1962-1970.