Chemical modification of titanium nitride films via ion implantation.

T. Aizawa, A.Mitsuo A.Mitsuo, T. Akhadejdamrong

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)1962-1970
ジャーナルMaterials Transactions.
44 [10] (2003)
出版ステータスPublished - 1800

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