Chemical Modification of Titanium Nitride Films via Ion Implantation

Tatsuhiko Aizawa, Atsushi Mitsuo, Thananan Akhadejdamrong

研究成果: Article査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Chemical Modification of Titanium Nitride Films via Ion Implantation」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds

Physics & Astronomy