Coatings and microstructures of monolithic TiB2 films and double layer and composite TiCN/TiB2 films from alkoxide solutions by thermal plasma CVD

S. Shimada, M. Takahashi, H. Kiyono, J. Tsujino

研究成果: Article査読

18 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Coatings and microstructures of monolithic TiB<sub>2</sub> films and double layer and composite TiCN/TiB<sub>2</sub> films from alkoxide solutions by thermal plasma CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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