Commercial Production of Low-k PZT film using Sputtering Method

Mario Kiuchi, Ryoma Miyake, Shinya Yoshida, Shuji Tanaka, Tsuyoshi Takemoto, Yukitaka Yamaguchi, Kenji Komaki

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Commercial Production of Low-k PZT film using Sputtering Method」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science