Cross-sectional TEM analysis of laser-induced ripple structures on the 4H-SiC single-crystal surface

T. Okada, H. Kawahara, Y. Ishida, R. Kumai, T. Tomita, S. Matsuo, S. Hashimoto, M. Kawamoto, Y. Makita, M. Yamaguchi

研究成果: Article査読

21 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Cross-sectional TEM analysis of laser-induced ripple structures on the 4H-SiC single-crystal surface」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds