Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film

Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Tatsuya Okada, Tsunenobu Kimoto, Hiroyuki Matsunami, Takeshi Mitani, Shin Ichi Nakashima

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy