Deposition and wear resistance of composite TiBC-SiC coatings on Si wafer by thermal plasma CVD

Shiro Shimada, Yusuke Fuji, Hajime Kiyono, Jiro Tsujino, Isao Yamazaki

研究成果: Article査読

3 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Deposition and wear resistance of composite TiBC-SiC coatings on Si wafer by thermal plasma CVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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