Development and test of model apparatus of non-contact spin processor for photo mask production applying radial-type superconducting magnetic bearing

Kimiyo Saito, Satoshi Fukui, Masaru Maezawa, Jun Ogawa, Tetsuo Oka, Takao Sato

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Development and test of model apparatus of non-contact spin processor for photo mask production applying radial-type superconducting magnetic bearing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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