Development and test of model apparatus utilizing HTS magnetic levitation for non-contact spinning clean-up processors of photo mask production

Kimiyo Saito, Satoshi Fukui, Jun Ogawa, Tetsuo Oka, Takao Sato, Satoshi Sorimachi, Shinsuke Miyazaki

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「Development and test of model apparatus utilizing HTS magnetic levitation for non-contact spinning clean-up processors of photo mask production」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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