Development of high-resolution MFM-tips

Michael Rudolf Koblischka, A. N. Müller, U. Hartmann, T. Sulzback, P. Dodd

研究成果: Conference contribution

抄録

In this contribution, we report on the preparation of high-resolution MFM tips using the EBD-method for MFM measurements on soft magnetic samples. Electron beam lithography (EBL) using a scanning electron microscope (SEM) was used to define small particles of magnetic material at the very end of a commercial scanning microscope tip to achieve maximum lateral resolution with low magnetic moment.

本文言語English
ホスト出版物のタイトルINTERMAG Europe 2002 - IEEE International Magnetics Conference
編集者J. Fidler, B. Hillebrands, C. Ross, D. Weller, L. Folks, E. Hill, M. Vazquez Villalabeitia, J. A. Bain, Jo De Boeck, R. Wood
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ISBN(電子版)0780373650, 9780780373655
DOI
出版ステータスPublished - 2002 1 1
外部発表はい
イベント2002 IEEE International Magnetics Conference, INTERMAG Europe 2002 - Amsterdam, Netherlands
継続期間: 2002 4 282002 5 2

Other

Other2002 IEEE International Magnetics Conference, INTERMAG Europe 2002
国/地域Netherlands
CityAmsterdam
Period02/4/2802/5/2

ASJC Scopus subject areas

  • 電子材料、光学材料、および磁性材料
  • 電子工学および電気工学
  • 表面、皮膜および薄膜

フィンガープリント

「Development of high-resolution MFM-tips」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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