Development of MEMS pierce-type nanocrystalline Si electron-emitter array for massively parallel electron beam direct writing

Hitoshi Nishino, Shinya Yoshida, Akira Kojima, Naokatsu Ikegami, Nobuyoshi Koshida, Shuji Tanaka, Masayoshi Esashi

研究成果: Conference contribution

7 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Development of MEMS pierce-type nanocrystalline Si electron-emitter array for massively parallel electron beam direct writing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science

Physics & Astronomy

Chemical Compounds