本文言語 | English |
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ジャーナル | Journal of Applied Physics |
巻 | 105 |
出版ステータス | Published - 2009 3月 1 |
Dielectric and electrical properties of amorphous La1-XTaXOY films as higher-k gate insulators
Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno
研究成果: Article › 査読