Dielectric and electrical properties of amorphous La1-XTaXOY films as higher-k gate insulators

Y.Zhao Y.Zhao, K.Kita K.Kita, K.Kyuno K.Kyuno, A.Toriumi A.Toriumi, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルJournal of Applied Physics
105
出版ステータスPublished - 2009 3 1

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