Dielectric and electrical properties of amorphous La1-xTa xOy films as higher- k gate insulators

Yi Zhao, Koji Kita, Kentaro Kyuno, Akira Toriumi

研究成果: Article査読

20 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dielectric and electrical properties of amorphous La1-xTa xOy films as higher- k gate insulators」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy