Dielectric Constant Increase of Yttrium-Doped HfO2 by Structural Phase Modification

K Kita, K Kyuno, A toriumi

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)794-795
ジャーナルExtended Abstracts of 2004 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM)
出版ステータスPublished - 2004 9 1

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