Dynamic profile calculation of deposition resolution by high-energy electrons in electron-beam-induced deposition

K. Mitsuishi, Z. Q. Liu, M. Shimojo, M. Han, K. Furuya

研究成果: Article査読

36 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Dynamic profile calculation of deposition resolution by high-energy electrons in electron-beam-induced deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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