Effect of dynamic precursor gas pressure on growth behavior of amorphous Si-C-O nanorods by electron beam-induced deposition

Wei Zhang, Massayuki Shimojo, Kazuo Furuya

研究成果: Article査読

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Effect of dynamic precursor gas pressure on growth behavior of amorphous Si-C-O nanorods by electron beam-induced deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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